纯氧曝气活性污泥法又名富氧曝气活性污泥法，空气中氧的含量仅为21%，而纯氧中的含氧量为90%～95%，纯氧的氧分压比空气高4.4～4.7倍，用纯氧进行曝气能够提高氧向混合液中的传递能力。
  采用纯氧曝气系统的主要效益有：氧利用率可达80%～90%，曝气池内混合液的MLSS值可达4000～7000mg／L，能够提高曝气池的容积负荷；曝气池混合液的SVI值较低，一般都低于100，污泥膨胀现象发生的较少；产生的剩余污泥量少。
  纯氧池目前多为有盖密闭式，以防氧气外溢和可燃性气体进人。池内分成若干个小室，各室串联运行，每室流态均为完全混合。池内气压应略高于池外以防池外空气渗入，同时，池内产生的废气如CO2等得以排出。

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